Отримання
Існують різні способи отримання даного з’єднання. Один з них – хімічне осадження, яке ведеться при температурі від 700 до 900 °С. При використанні такого способу виходить з’єднання в аморфному вигляді, яке є діелектриком. При цьому можливе утримання в даному матеріалі водню може становити до 8%. В такому випадку атоми азоту і кремнію можуть утворювати водневі зв’язки з містяться в аморфному осаді воднем. Існує залежність вмісту атомів водню від температури, при якій проводилося осадження, а також від співвідношення вихідних речовин в газовій суміші.
Найбільший вміст речовини проявляється, якщо осаджувати нітрид кремнію в умовах низьких температур і при високому значенні концентрації аміаку в газоподібної суміші. Якщо проводити процес у малому співвідношенні вмісту аміаку до дихлорсилану, то матеріал буде включати в свій склад досить велика кількість кремнію, що призводить до формування недостатніх діелектричних властивостей. Опір по відношенню до електрики Si3N4 також залежить від температурних умов, при яких його отримують.
Отримання нітриду кремнію – це складний процес, де необхідно враховувати різноманітні умови, щоб продукт відповідав пропонованим вимогам. Враховуючи, в яких важливих областях він знаходить своє застосування, необхідно відповідально підходити до умов проведення осадження.
